#magnetrónové naprašovanie

Na Ústave materiálov MTF vyvinuli nový typ pulzných plazmových generátorov

Využíva špeciálnu technológiu, ktorá sa týka stabilizácie plazmového výboja pri príprave tenkých vrstiev a povlakov pomocou vysokovýkonného impulzného magnetrónového naprašovania.

09.07.2020